ABB YPK112A 
操作站是商业个人电脑，其中安装了自由职业操作软件程序，用于过程可视化。所有显示和记录都配置了软件程序，并加载在操作员站。记录和趋势显示的数据采集在工艺站进行，所有的显示和存档都在操作员站进行。每个处理站最多可以与10个操作员和/或网关站进行通信。D-GS资源代表一个将系统连接到其他系统的网关。目前，目前都有针对任何OPC客户端和单独创建的应用程序（DMS API）的网关。D-ES资源用于一个工程站，即配置工具自由职业工程。它出现在硬件结构中。此显示器仅用于文档化目的。每个对象随后都可以被参数化。除了默认设置给出的对象名称外，还可以分配短文本和长文本。I/O模块上没有开关：所有模块的设置都可以在硬件管理器中进行配置。

ABB YPK112A

JA-RELAY 1B-TM-DC24V-P 250 VAC 20 Pieces, Solid StateRe

TWO MKS MFC Type 649, 649A11T11CAVR-S?, Ar 10 SCCM

Tylan 2900 series MFC, FC-2900V, Ar, 500 SCCM, S9115

Tylan 2900 series MFC, FC-2900V, O2, 50 SCCM, S3072

Tylan 2900 series MFC, FC-2900V, CHF3, 200 SCCM, S2029

Tylan 2900 series MFC, FC-2900V, CHF3, 200 SCCM, S4272

AMAT 0140-09065 /chamber INTERFACE CABLE

AMAT 0226-09683 INTERFACE PUMP

TWO LAM RESEARCH 715-011531-001 ELECTRODE ALUMINUM ANOD

Stec MFC SEC-4400, SEC-4400M, Ar, 300 SCCM, S3893

3 Varian 111164002 Couplings with flanges

NEC NR3311TX-185 microwave transmitter

IPEC Speedfam Novellus 960262 Arm, Assembly Rest.

MKS RGA Spectra Microvsion or HPQ2 + Vacuum Controller

RGA MKS Spectra Microvsion or HPQ2 & Vacuum Controlrer

AMAT 0040-06596 TXZ lid plate

KS 226A-29444 Differential pressure transducer

STEC LF-410A-EVD,TEO?S, 1.0g/min liquid flow controller

SPECK 08-0096-02326, Pump, 6 GPM, Novellus 27-291844-00

MKS BARATRON 122BA-00100EB, 100 TORR

Novellus 60-183488-00 assy, Pneumatic bank #1, Fest