ABB 07BR61R1 GJV3074376R1

不同的个人电脑。即使多个资源被分配给同一物理单元，每个资源在硬件结构中都有一个单独的表示。除了指定通信连接之外，硬件的配置还可用于进行文档化和合理性检查。因此，可以对实际已安装的内容和已配置的内容进行比较。在硬件结构的调试模式中，用不同的颜色标记错误的插入或丢失的对象。4.2硬件结构用户界面4.2.1树状视图硬件结构树状视图显示所有硬件结构对象。从系统对象开始，可以将其他层次级别输入到设备级别。工作站通过在图形视图显示中显示相应工作站的位置号输入。每次插入站点或网关时，都会进行位置查询。每个对象都具有对象参数，如名称、短文本和长文本。与对象相关的参数见工艺站的工程手册。

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Unit MFC, UFC-1660, He, 200 SCCM, sealed bag.

ROOKS AUTOMATION BROOKSNET I/O MODULE DEVICENET, 002-8

Hathaway HTO15O1A18HE Optical Encoder PSA-17-060

VAT Gate Valve 10416-5

Horiba stec LF-410A MFC, LF-410A-EVD, TEOS, 3.0 g/min, 

MKS 122AA-01000BB, Baratron 1000 Torr

Aera MFC TC FC-980C, MULTI, MULTI-1

Aera MFC TC FC-980C, BCL3,100 SCCM

Aera MFC, 10 RA FC-980C, SiH4, 20 SCCM

Aera MFC FC-770AC Ar 200 SCCM

Aera MFC FC-770AC, N2 200 SCCM

Aera MFC, TC FC-980 PH3/He 500 SCCM 800PPM

MKS 253B-22072 Throttle valve

Tylan General CMLA-11S06 Output: 0-10 VDC, Range: 0-10 

4 Anelva TG-550B Vacuum TC gauge ThermoCouple, Novellus

Masterflex cole parmer 7552-76 washdown modular control

Novellus 27-270136-00 Brooks 108965 mapper, Thrubea

Tylan 2900 MFC FC-2900M-EP, Ar 20 SLPM lots of 2 

AMAT 0020-18508 Backing Plate, Side Local Match, HDPCVD