4104C ZYGO 安装注意事项

一、安装前准备

开箱检查

检查所有组件是否齐全：4104C 测量板、说明书、保修卡、配件等

检查板卡外观有无损坏、变形，特别是接口和金手指部分

记录设备序列号，便于后续保修和技术支持

环境准备

温度：稳定在 20-25°C，波动不超过 ±0.5°C

湿度：45%-55%，避免凝露和静电干扰

振动：低于 0.5μm，远离振动源 (如空调、电机)

防尘：清洁无尘环境，避免光学元件污染

电磁：远离强电磁场 (如变频器、大型电机)，建议距离≥1 米

工具准备

防静电手环 / 手套

无磁螺丝刀 (用于 VME 机箱固定)

光纤清洁工具 (无尘布、无水乙醇)

万用表 (测试电源)

扭矩扳手 (如需精确固定)

二、VME 机箱安装步骤

防静电措施

安装全程佩戴防静电手环并可靠接地

避免直接触摸板卡的电子元件和接口

在防静电工作台上操作，或确保身体与机箱良好接触

板卡安装

确认 VME 机箱电源已关闭，并拔掉电源线

选择合适的 VME 插槽 (建议远离发热量大的组件)

对准插槽缓慢平稳插入 4104C，确保插针与插槽完全接触

使用螺丝固定，遵循 "多次交叉紧固" 原则，避免主板变形

安装完成后检查板卡是否稳固，无晃动

三、连接与配置

1. 电源连接

电源要求：24V DC (±10%)，推荐使用 ZYGO 原装电源或认证电源

使用稳压电源，防止电压波动影响测量精度

确保电源有良好接地，接地电阻 < 1Ω

线缆选择：截面积≥1.5mm²，耐高温、耐腐蚀

连接时确认正负极正确 (通常红色为正，黑色为负)，避免短路

2. 光纤连接 (关键步骤)

清洁：

使用无尘布蘸分析纯无水乙醇清洁光纤接口和设备端口

避免手指接触端面，防止污染

清洁后立即连接，避免二次污染

连接操作：

抬起保护盖，松开卡扣，将光纤完全插入(约 11mm 深)

确认听到 "咔嗒" 声或观察到位标记

压紧固定光纤，盖上保护盖

光纤弯曲半径 **≥40mm**，避免过度弯折导致信号损失

布线管理：

使用波纹管保护光纤

远离热源和尖锐物体

固定线缆防止晃动和摩擦

信号线缆与电源线间距 > 10cm，减少干扰

3. 信号与通信连接

连接计算机：使用USB 3.0 屏蔽线缆，推荐长度 < 3m

连接运动控制器：通过标准接口 (如 EtherCAT、RS232)

所有连接线应牢固可靠，避免松动导致数据丢失

接口类型：4104C 支持多种通信协议，根据实际应用选择

四、软件安装与校准

软件安装

安装 ZYGO MetroPro 软件 (或其他配套软件)

安装前关闭杀毒软件，避免误删驱动

按照提示完成安装，重启计算机

安装驱动程序，确保板卡被系统识别

系统校准

执行三步校准法：

参考镜平面度校准 (使用标准 λ/20 平面镜)

光路准直调整 (通过软件中的 CCD 成像辅助)

动态范围验证 (建议每月执行一次)

校准过程中保持环境稳定，避免振动和温度变化

五、安全注意事项

激光安全

4104C 通常配合激光干涉仪使用，注意激光安全

避免直视激光输出，佩戴相应波长防护眼镜

激光工作区域设置警示标识，禁止无关人员进入

电气安全

设备必须可靠接地，防止触电风险

维修前先断开所有电源，等待 5 分钟以上再操作

非专业人员不得打开设备外壳，内部有高压危险

电源故障时应立即切断总电源，联系专业维修人员

操作规范

开机顺序：先开计算机，再开 4104C，最后开干涉仪主机

关机顺序：先关干涉仪，再关 4104C，最后关计算机

测量过程中严禁触摸设备或振动平台，确保测量精度

定期检查所有连接是否松动，特别是光纤和电源线