ZYGO ZMI 4104

品牌：ZYGO（齐戈）

型号：ZMI 4104

产品名称：ZMI 系列四轴激光干涉位移测量板卡

产地：美国

海关编码：85437099（精密光学测量电子电路板，报关仅供参考，最终以报关行核定为准）

外形尺寸：6U 标准 VME 板规格，185 mm × 135 mm × 28 mm

净重：0.68 kg

产品简介

ZMI 4104 是 ZYGO 推出的 ZMI™系列高性能多轴位移测量电子板卡，适配 ZYGO 激光干涉仪系统，专门面向半导体光刻、纳米定位平台、精密光学设备等高要求计量场景。该板卡通过接收干涉仪光学信号实时解算目标位移数据，单卡支持 4 通道同步测量，搭载专利循环误差补偿算法，能够有效抑制干涉系统固有非线性误差。设备采用 6U VME64x 总线架构，可模块化安装至标准 VME 机箱，多块板卡组网后系统最大可扩展至 64 个测量轴，广泛应用于晶圆制程设备、高精度运动控制系统、科研超精密测量平台，是纳米级闭环位置控制的核心信号采集组件。

技术参数与产品特性

硬件架构：6U VME64x 标准插卡结构，支持背板高速数据交互，配备光纤光学输入接口。

测量通道：单卡 4 路独立测量轴，四路同步采集。

位置分辨率：0.15 nm；最大测量速度：±2.55 m/s；最高速度下测量精度 σ 值可达 0.2 nm。

最低接收光功率：0.07 µW，适配远距离光路测量工况。

兼容激光器：支持 ZYGO 7702、7714、7724 系列激光光源。

供电要求：直流 24V，电压波动范围 ±10%，最大功耗 45W。

工作环境温度：0℃ ~ +50℃；推荐精密测量环境温度 15℃~35℃，温度稳定度越高测量效果越好；存储温度 - 40℃ ~ +70℃；环境湿度 5%~95%，无凝露。

防护等级：IP20，仅可安装在密闭电控机柜内部。

核心功能：干涉光学信号解调、实时位移运算、内置循环误差自动补偿、硬件实时数据输出、板载状态自检、故障告警；测量数据可直接输送至运动控制器实现闭环控制。

电磁特性：满足 EN 61326-1 工业电磁兼容标准，具备抗振动、抗电磁干扰能力，适配半导体设备复杂机柜环境。

扩展特性：支持多板卡级联扩展，无需额外网关；前面板配备状态指示灯，便于运维人员快速识别通道、供电及通讯故障。