ZYGO ZMI 8070-0902-04（ZMI7705 激光头）
产品简介
8070-0902-04 属于 ZYGO ZMI7705 系列外差式氦氖激光干涉仪激光发射头，是纳米级位移测量系统核心光源单元。设备采用塞曼分裂双频氦氖激光技术，输出稳定双频偏振激光光束，搭配干涉光学组件、ZMI 测量采集板，实现工作台直线位移、角度、速度高精度检测。激光头输出光束送入干涉仪光路，将运动台位置变化转化相位信号传输至电子处理单元，广泛配套半导体光刻机、晶圆检测设备、精密光学平台、高精度龙门运动系统，用于纳米级闭环伺服位置反馈，是精密计量设备的核心光学光源部件。
技术参数
品牌：ZYGO（齐戈，AMETEK 旗下精密光学品牌）
型号：8070-0902-04（ZMI7705 激光头）
正式产品名称：ZMI7705 双频氦氖干涉仪激光发射单元
外形尺寸：342mm（长）×96mm（宽）×82mm（高）
净重：1.32kg
海关 HS 编码：90275000
产地：美国
激光类型：He-Ne 氦氖气体激光器
输出波长：632.99nm
频差稳定值：3.6MHz
额定功耗：7W
光束直径：4mm
激光安全等级：Class 2
供电电源：15VDC，电压浮动范围 14.4～15.6VDC
工作环境温度：18℃～28℃，恒温工况最优，无凝露，相对湿度 5%～80%
安装方式：卧式底座固定安装
配套设备：ZMI 干涉镜组、ZMI 501A 控制机箱、VME 总线信号采集卡
核心特性
采用塞曼效应稳频结构，频率长期稳定性优异，测量零点漂移极小，满足长时间不间断精密测量；
一体化密封激光腔体，防尘防潮，适配无尘车间精密设备长期运行环境；
光束指向稳定性优秀，温度波动、轻微震动条件下光束偏移量极低；
支持单台激光头拓展多轴测量，最多可同步支持多路干涉测量通道；
具备上电自检、光源老化持续监测功能，光源功率衰减达到阈值输出故障信号；
原生匹配 ZYGO ZMI 整套位移测量系统，可直接对接各类平面反射式、回射式干涉镜；
快速达到稳定工作状态，开机稳定时间≤10 分钟；
内置光学隔离结构，有效抑制光路反射光对激光器造成的工作扰动；
标准化信号接口，支持与上位测量机箱即插即用；
纳米级测量闭环系统标配光源，广泛应用光刻、量测设备；
原厂全新光学备件，适用于半导体设备、精密检测平台新机配套与老旧精密运动系统改造升级项目。