LAM 810-225420-002 半导体调整动力学。为正确的系统调整执行器惯性设置表演增加设置意味着系统中的惯性更高，并且从而在致动器中产生更高的增益。使用执行器验证设置惯性测试执行命令。近似惯性参见表9-1基于杠杆...